?無油螺桿真空泵是一種利用一對螺桿在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用來實現(xiàn)抽氣的真空泵。兩根螺桿的形狀通常為陰陽轉(zhuǎn)子，陽轉(zhuǎn)子有凸齒，陰轉(zhuǎn)子有凹齒，它們相互嚙合。當(dāng)螺桿旋轉(zhuǎn)時，氣體從進氣口進入泵腔，隨著螺桿的旋轉(zhuǎn)，氣體被封閉在由螺桿與泵殼所圍成的空間內(nèi)，并沿著螺桿的軸向方向向前移動，在排氣口排出。由于其內(nèi)部沒有油潤滑系統(tǒng)，避免了油對被抽氣體的污染，所以稱為無油螺桿真空泵。
螺桿轉(zhuǎn)子：是無油螺桿真空泵的核心部件。螺桿轉(zhuǎn)子的型線設(shè)計很關(guān)鍵，良好的型線可以保證螺桿之間以及螺桿與泵殼之間的密封性能，提高泵的抽氣效率。例如，一些先進的無油螺桿真空泵采用了高精度的不對稱螺桿型線，這種型線可以有效減少氣體的回流，增強抽氣能力。
泵殼：通常采用高強度的金屬材料制造，如不銹鋼或鋁合金。泵殼的內(nèi)表面需要經(jīng)過精密加工，以確保與螺桿轉(zhuǎn)子之間的配合精度。它的結(jié)構(gòu)設(shè)計要考慮到能夠承受內(nèi)部的壓力變化，并且具有良好的散熱性能，因為在抽氣過程中，氣體的壓縮會產(chǎn)生熱量。
冷卻系統(tǒng)：由于無油螺桿真空泵在工作過程中會產(chǎn)生熱量，所以需要有效的冷卻系統(tǒng)。冷卻方式主要有風(fēng)冷和水冷兩種。風(fēng)冷系統(tǒng)通過安裝在泵體外部的風(fēng)扇，將熱量散發(fā)到周圍空氣中；水冷系統(tǒng)則是通過在泵體內(nèi)部或外部設(shè)置冷卻水道，利用循環(huán)水帶走熱量。