無(wú)油螺桿真空泵也被稱為螺桿真空泵或干式真空泵，是一種具有廣闊應(yīng)用前景和巨大市場(chǎng)潛力的真空設(shè)備。

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這種泵的工作原理是，通過(guò)兩根螺旋轉(zhuǎn)子在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)，利用高速擠壓氣體來(lái)產(chǎn)生吸氣和排氣作用。
無(wú)油螺桿真空泵的優(yōu)點(diǎn)包括：
無(wú)需潤(rùn)滑油，因此不會(huì)產(chǎn)生油污染，特別適用于對(duì)清潔真空要求較高的領(lǐng)域，如微電子、半導(dǎo)體、制藥和精密機(jī)械等。
轉(zhuǎn)子之間有一定的間隙，因此在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)相互無(wú)摩擦，具有低噪音、低能耗、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。
極限真空度高，可以達(dá)到10pa，適用于化工精餾、光伏覆膜機(jī)等高真空工況。
螺桿轉(zhuǎn)子的加工制造精度要求高，因此其成本也相對(duì)較高，但這也保證了其工作性能和使用壽命。